Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Дудкин, А. А.
    Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 [Текст] / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Искусственный интеллект. — 2008. — С. 348-352.


- Анотація:

Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Геометрична оптика (теорія та розрахунки)
  • УДК // Представлення даних



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт