|
Автор: Даниловав М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В, Тодуа П.А.
-
Анотація:
Разработан тест-объект для растровой электронной микроскопии, имеющий трапециевидный профиль рельефа с большими углами наклона боковых стенок. Тест-объект содержит элементы с тремя аттестуемыми размерами ширины линии, расположенные в двух взаимно-перпендикулярных направлениях.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Властивості та структура молекулярних систем
-
УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика
-
УДК // Електронно- мікроскопічні методи дослідження/Электронно-микроскопические методы исследования/Electronic and microscopic methods of research
| 