Предложена аналитическая модель расчета контактного сопротивления тонкопленочного резистора. Исследована зависимость контактного сопротивления от клина травления. Рассмотрено влияние адгезионного слоя на температурную стабильность резистора. Получены формулы расчета систематической и случайной погрешности, вносимой контактным сопротивлением.
