Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Дружинин, А. А.
    Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов. [Текст] / НУ"Львовская политехника", г.Лбвов, Украина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 43-49.


Автор: Дружинин А.А., Голота В.И., Когут И.Т., Сапон С.В., Ховерко Ю.М.

- Анотація:

Предложена структура системы преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработан метод формирования локальных трехмерных КНИ-структур, который позволяет создавать как планарные, так и трехмерные приборные элементы и контакты. На КНИ-структурах разработан управляющий высоковольтный МОП-транзистор и ячейка памяти с формирователем сигналов для хранения топологической информации. Экспертная оптимизация топологии ячейки памяти позволила значительно уменьшить ее площадь по сравнению с площадью ячейки, изготовленной по стандартной n-канальной МОП-технологии.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт