Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Босый, В. И.
    Испаритель для термического напыления материалов в вакууме [Текст] / НПП «Сатурн», г.Киев, Украина. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 56-57.

- Анотація:

Рассмотрена конструкция испарителя, предназначенного для напыления материалов в вакуумно-напылительных установках, который успешно эксплуатируется в технологическом процессе изготовления арсенид-галлиевых транзисторов, диодов и монолитных схем.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Теплопередача. Окремі деталі електричних печей та нагрівальних апаратів. Допоміжні пристрої та пристосування



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт