|
Автор: Кулинич О.А., Смынтына В.А., Глауберман М.А., Чемересюк Г.Г., Яцунский И.Р.
-
Анотація:
С помощью современных методов исследована сложная структура приповерхностных слоев кремния в системах «кремний — диоксид кремния». Выявлены зависимости параметров этих слоев от условия оксидирования и характеристик первоначального кремния. Показано влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Добування окремих корисних копалин, руд, порід
-
УДК // У вакуумі
| 