Зведений каталог бібліотек Харкова
Афонин, С. М. Статика и динамика пьезодвигателя нано- и микроперемещений [Текст] / С.М. Афонин // . — С. 14-20.
- Анотація:
Рассчитаны статические и динамические характеристики пъезодвигателя нано- и микроперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники.
- Є складовою частиною документа:
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2008.
- Теми документа
