Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Дудкин, А. А.
    Оптический контроль конструкторско-технологических ограничений объектов топологии интегральных схем [Текст] / А.А. Дудкин, А.А. Воронов // . — С. 411-420.


- Анотація:

Предлагаются алгоритмы проверки ограничений на топологических слоях, которые должны выполняться при изгтовлении интегральных схем, применительно к автоматизированным системам визуального контроля качества. Особенностью технологии является то, что проверка на удовлетворение конструкторско- технологическим требованиям выполняется на разных этапах обработки.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Виробництво інтегральних мікросхем та мікроелектронних приладів



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт