Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Афонин, С. М.
    Исследование статических и динамических характеристик пьезодвигателя нано- и микроперемещений [Текст] / Московский государственный ин-т электронной техники (технический ун-т), Москва // Известия РАН.Теория и системы управления  : научный журнал / РАН. Известия АН. — С. 114-121.


- Анотація:

Рассчитаны статические и динамические характеристики пьезодвигателя нано- и микроперемещений для оборудования наиотехнологии и микроэлектроники, построена параметрическая структурная схема пьезодвигателя и определено влияние физических и геометрических параметров пьезодвигателя на статические и динамические характеристики.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Автоматика. Техніка автоматичного керування і регулювання. Високі технології. Смарт-технології
  • УДК // Диференціальні рівняння. Інтегральні рівняння. Інші функціональні рівняння. Скінченні різниці. Варіаційне



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт