Опис документа

Скворцов, А. М.
Некоторые свойства кремниевых структур, полученных лазерным микроструктурированием [Текст] / А.М. Скворцов, С.С. Дышловенко, М.В. Погумирский та ін. // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 79-84.

Автор: Скворцов А.М., Дышловенко С.С., Погумирский М.В., Фам Куанг, Соколов В.И.

- Анотація:

Иследовано влияние лазерного микроструктурирования монокристаллического кремня на морфологию и оптические свойства облученных областей.

- Є складовою частиною документа:

Известия высших учебных заведений. Приборостроение. [Текст] / МО РФ, СПб ГУИТМО. — СПб.

- Теми документа

УДК // Електронні напівпровідники
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
УДК // Практичний аспект, реалізація, виконання, виробництво в техніці/Практический аспект, реализация, исполнение, производство в технике/Practical aspect, realization, execution, production in equipment

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт