В статье рассматриваются вопросы использования нейросетевых предикторов в системах управления МЭМС ( в частности, в микроманипуляционных устройствах), изготовленных с применением наноструктурных материалов. Рассмотрены конструкция, математическая модель и методы интеллектуального управления захватным устройством на основе наноструктурных металлических материалов, в котором в качестве эффективных сил удержания микрообъектов используются силы Ван-дер-Ваальса. Отмечены основные преимущества использования наноструктурных металлических материалов в МЭМС и микроинструментах.