Беневоленский, С. Б.     Программный комплекс для систем дифрактометрическго контроля и измерения геометрических параметров элементов топологии ИМС [Текст] / "МАТИ" - Российский государтсвенный технологический университет им.К.Э.Циолковского // Известия вузов. Электроника. — 2008. — С. 83-84.