Рассмотрены разрушающие и неразрушающие методы измерения диэлектрических и магнитных проницаемостей многослойных структур на основе решения обратных задач. Приведены результаты измерений для коаксиальных и волноводных зондовых структур, а также для измерений на пластине, частично заполняющий прямоугольный волновод.