Предложен модифицированный алгоритм проекционного метода Галеркина для электродинамического анализа волнлводных систем с твердотельными, в частности, полупроводниковыми элементами. Нелинейные свойства полупроводникового материала в сильном электрическом поле учтены на основе феноменологической модели зависимости диэлектрической проницаемости материала этого элемента, напрмер InSb, от амплитуды электрического поля.