Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Белозубов, Е. М.
    Минимизация влияния нестационарных температур в микроэлектромеханических системах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Пензенский государственный университет // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2008. — С. 36-39.


- Анотація:

Рассмотрены пассивные методы защиты от воздействия температуры, реализуемые в микроэлектромеханических системах (МЭМС) тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления (ТТДД). Предложены эффективные методы и средства компенсации нестационарных температур в МЭМС ТТДД.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електричні та магнітні датчики (перетворювачі)



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт