| | Васин, В. А. Технология проектирования и производства устройств и элементов, исключающих трение движения систем вакуумного оборудования производства изделий электронной техники и других высоких технологий [Текст] / Московский институт электроники и математики (технический университет) // Технология машиностроения : Обзорно-аналитический, научно-технический и производственный журнал. — М. : Технология машиностроения, 2008. — С. 37-41. |
| | |
|