Рассматриваются вопросы учета разброса параметров СВЧ-схем, вызванные особенностями используемых процессов, на этапе моделирования. Описываются различные типы статистического анализа и трудности его использования. Преимущества методики демонстрируются на примере статистического моделирования усилителя С-диапазона на основе микроволновых ИС.