Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Тарнавский, Г. А.
    Нанотехнологии в электронике: краткий обзор основных процессов производства современных микроэлектромеханических систем [Текст] / Г.А. Тарнавский // Справочник. Инженерный журнал. — 2008. — С. 11-16.


- Анотація:

Приводится краткий перечень и описание ключевых физико-механических и механических процессов, составляющих основу технологических сегментов промышленного производства полупроводниковых материалов, конструирования и получения трехмерных микроструктур для современной электроники.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
  • УДК // Нанотехнологія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт