Приведены результаты апробации метода статистических испытаний Монте-Карло для проведения расчетов и анализа компоновочных вариантов вакуумного оборудования , в котором технологические процессы нанесения покрытий реактивным методом вызывают разницу давлений на участках рабочих камер.
