|
Автор: Литовченко В.Г., Лисовский И.П., Кладько В.П., Ефремов А.А., Злобин С.А., Слободян Н.В.
-
Анотація:
Методами ИК-спектроскопии с компьютерным анализом формы полосы поглощения на Si-O-связях, электронной микроскопии, дифракции рентгеновских лучей и измерения спада нестационарной фотопроводимости проведено экспериментальное исследование процессов создания кислородных преципитатов в результате двухстадийного отжига в слитках кремния разного диаметра (40-300 мм).
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
| 