Зведений каталог бібліотек Харкова
Простомолов, А. И. Моделирование тепловых процессов и дефектообразования при выращивании и термообработке бездислокационных монокристаллов и пластин кремния [Текст] / Институт проблем механики РАН // . — С. 49-53.
- Анотація:
Рассмотрены возможности современного этапа сопряженного математического моделирования процессов теплопереноса и дефектообразования при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра методом Чохральского.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2008.
- Теми документа