Проанализированы основные характеристики нового метода определения параметров шероховатости поверхности, основанного на рассеивании света в волноводах интнгральной оптики. Показано, что при использовании стандартных приборов волноводный метод обеспечивает рекордные для оптических методов чувствительность и разрешение.
