Кінетику латерального поширення фаз Cu6Sn5 і Cu3Sn у нанодисперсиих тонко-плівкових та крупіюкристалічних масивних дифузійних парах Cu-Sn досліджено в інтервалі температур 160-180 °С методами оптичної, атомної силової та скануючої мікроскопії, а також- методом енергодисперсійноїрентгенівської спектроскопії. Щоб запобігти дифузії вздовж поверхні і виокремити внесок дифузії вздовж границь у кінетику поширення фаз у нанодисперсиих структурах, на поверхню тонкоплівковнх пар наносили тонкий шар вуглецю. Встановлено, що швидкість латерального поширення фаз CuASns та CiijSn у тонкоплівковнх парах перевищують у декілька разів швидкість просування фаз вздовж: поверхні масивних крупіюкристалічних пар. Кінетика латерального поширення фаз у зразках обох типів підпорядкована параболічному закону. Швидкість просування фаз у тонкоплівковнх парах не залежить від товщини плівок (в інтервалі її значень 40-200 им), але суттєво залежить від розміру зерна та структури границь. При латеральному поширенні фаз виявлено режими А та В реакційної дифузії вздовж границь. Кінетику поширення фаз, прискорену зериограпнч-ною реакційною дифузією, проаналізовано теоретично. За результатами аналізу рої раховано швидкість росту, а також коефіцієнти зернограничної й поверхневої реакційної дифузії.