Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Волк, Ч. П.
    Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высоко-и низковольтных растровых электронных микроскопах [Текст] / Институт общей физики им. A.M. Прохорова РАН, Москва, Россия, // Измерительная техника  : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 15-17.


- Анотація:

Проведены измерения ширины линии одного и того же тест-объекта на высоко- и низковольтных растровых электронных микроскопах.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт