| | Волк, Ч. П. Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высоко-и низковольтных растровых электронных микроскопах [Текст] / Институт общей физики им. A.M. Прохорова РАН, Москва, Россия, // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 15-17. |
| | |
|