Автор: Березницкий С.Л., Богаченко Д.Д., Гайдаенко И.В., Егоров О.К., Колесников В.В., Туров В.Ф.
-
Анотація:
Для повышения скорости измерений микрообъектов проведена модернизация установки МАС-1 (микроскоп автоматизированный сканирующий) и разработаны программы выхода на начальную точку и автоматического линейного перехода от точки к точке с заданным шагом. Полученная погрешность выхода на точку с указанными координатами составила 1 мкм.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Ядерна фізика. Атомна фізика. Молекулярна фізика
|