Установлено, что анодные оксидные пленки кремния, полученные методомреанодирования кремния р- и n-типов в фосфатном, боратном и нитратном электролитах на основе тетрагидрофурфурилового спирта, имеют трех- или четырехслойное строение как до, так и после высокотемпературного отжига.
