Зведений каталог бібліотек Харкова
Данилина, Т. И. Моделирование микрорельефа и распределения электрического поля в МДМ-структурах [Текст] / Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Россия // . — С. 22-26.
- Анотація:
При моделировании процессов травления микроострийного нижнего электрода и процессов осаждения диэлектрической пленки установлен факт сильного уточнения пленки на боковых поверхностях и у основания микроостриев.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2009.
- Теми документа
