Описаны особенности рефракции рентгеновского излучения в тонких слабо поглощающих пленках Be и C при скользящем падении рентгеновского излучения с длиной волны 0.1 нм. Показано, что интерференционная модуляция угловой диаграммы рефракции возникает в результате упругого рассеяния волны на дефектах поверхности пленки и последующего зеркального отражения от внутренней границы раздела пленки с подложкой. Предложенные экспериментальная схема и расчетная модель обеспечивают возможность определения толщины пленки вблизи края образца с точностью 1%.
