533.9 | Б90 | Будянський, О. М. Оптимізація систем іонно-хімічного травлення на базі високочастотного розряду [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.21 - прилади та устаткування для створення та використання плазми / М-во освіти України, НАНУ, Науковий фіз. технолог. центр. — Х., 1997. — 15 с. |
| | |
|