Проведена классификация тест-объектов для калибровки растровых электронных микроскопов в нанометровом диапазоне. В качестве основы классификации использована форма профиля рельефа элементов тест-объектов и его связь с физическими механизмами формирования сигнала микроскопа, работающего в режиме сбора вторичных медленных электронов.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Властивості та структура молекулярних систем
• УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика
• УДК // Електронно- мікроскопічні методи дослідження/Электронно-микроскопические методы исследования/Electronic and microscopic methods of research