|
| | Соколов, Л. В.
Аппроксимация упругих деформаций на поверхности кремниевого пьезорезистивного преобразователя давления с трехмерной микромеханической структурой Е-типа [Текст] / Научно-исследовательский институт авиационного оборудования, Жуковский, Россия, // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 36-39. | |
| | |
|
