Показано, что многоканальный кремниевый микрорезонаторный измеритель позволяет определять температуру микрообъектов за время 24-79 мс с погрешностью 0,1 К одновременно по нескольким каналам. Приведены структурная схема и результаты численного моделирования динамики тепловых процессов на основе одномерного уравнения теплопроводности измерителя, выполненного на кремниевых подложках различной толщины и для различных температур микрообъектов.
