Приведены результаты исследования структуры и диффузионных свойств слоев, формирукмых на титановых сплавах ВТ1-0 и ВТ 14 при химико-термической обработке в замкнутых объемах, в порошковых смесях при вакуумном нагреве в интервалах температур 850...950?С. Исследованы особенности формирования слоев на мелкоразмерных деталях и инструменте (микрообъектах) при обработке по различным технологическим схемам. Установлена возможность повышения износостойкости и эксплуатационных свойств мелких объектов карбонитрированием в составах на основе древесных углей с активирующими азотоуглеродосодержащими активаторами.