Зведений каталог бібліотек Харкова
Ковшов, С. Б. Измерения трехмерных структур на интерференционном микроскопе с интерферометром перемещения [Текст] / ННЦ "Институт метрологии", г.Харьков, Украина // Український метрологічний журнал. — 2009. — С. 39-43.
- Анотація:
Дано описание устройства на основе интерференционного микроскопа и лазерного интерферометра перемещения. Приведены результаты измерений мер высоты ступени и решеток.
- Є складовою частиною документа:
Український метрологічний журнал [Текст] // Український метрологічний журнал ; ДНВО "Метрологія" - Х. : ХДНДІМ. — 2009.
- Теми документа
