Зведений каталог бібліотек Харкова
Манжа, Н. М. Исследование осаждения слоев нитрида кремния из паровой фазы аммонолизом дихлорсилана при пониженном давлении [Текст] / НПК "Технологический центр" МИЭТ, г.Москва, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 3-9.
- Анотація:
Исследована кинетика осаждения слоев нитрида кремния при пониженном давлении в реакторе 10-130 Па в интервале температур осаждения 973-1073 К. Рассчитана контанта равновесия бимолекулярной реакции взаимодействия дихлорсилана с аммиаком.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2009.
- Теми документа
