Рассмотрены проблемы измерения размеров в нанообласти. Результаты натурных и модельных экспериментов с растровыми электронно-микроскопическими изображениями в обратно рассеяных электронах показывают, что все профили интенсивностии, возникающие при дефокусировках, пересекаются в точках, соответствующих краям объекта.
