Рассмотрены перспективы использования оптической эллипсометрии в современных нанотехнологиях и в научном эксперименте. Главная особенность метода - отсутствие возмущающего воздействия, что в совокупности с высокой чувствительностью делает его привлекательным для целого ряда применений в различных областях знаний: физике полупроводников, физики и химии поверхности, материаловедении, химии, биологии и других. Представлен ряд современных моделей эллипсометров, разработанных и выпускаемых в ИФП СО РАН. В основе всех этих приборов лежит запатентованная оригинальная статическая схема эллипсометрических измерений. Возможности аппаратуры иллюстрируются примерами эллипсометрического исследования для решения ряда научных задач, а также использования эллипсометрии в технологии выращивания полупроводниковых фоточувствительных гетероструктур на основе CdxHg1-xTe.
