В работе представлены результаты исследования особенностей поведения кремния при микроиндентиро-вании в исходном состоянии, после облучения ионами азота, а также после облучения ионами азота и нанесения углеродного покрытия толщиной 80 нм. Показано, что обработка ионами азота и нанесение углеродного покрытия приводит к существенному уменьшению длины трещин вокруг отпечатков, а также полному их отсутствию при малых нагрузках на индентор. Данный факт объясняется наличием высокого уровня напряжений сжатия в углеродном покрытии, которые компенсируют напряжения растяжения, возникающие при индентировании. Установлено, что комплексное применение облучения ионами азота и нанесение покрытия позволяет значительно повысить микротвердость и трещиностойкость кремния.
