Рассматривается проблема автоматизации воспроизведения микроперемещений при градуировке, настройке и поверке (калибровке) средств контроля и измерения размеров и перемещений в микрометрическом диапазоне 0,1...100 мкм с разрешающей способностью не хуже 0,01 мкм. В качестве технического решения предлагается создание автоматизированных калибраторов микроперемещений, выполненных в виде пъезоприводного исполнительного механизма и блока управления. Для повышения точности, линейности и воспроизводимости микроперемещений исполнительный механизм калибратора оснащен встроенным индуктивным измерительным преобразователем микроперемещений подвижного звена механизма, выполняющим функцию эталонного обратного преобразователя системы управления Ключевые слова: воспроизведение микроперемещений, пьезопривод, систем управления, автоматизация
