|
Автор: ФроловВ.Д., Герасименко В.А., Кононенко В.В., Пименов С.М., Хомич А.В., Ковалев В.И., Кирпиленко Г.Г., Шелухин Е.Ю.
-
Анотація:
Cканирующая зондовая микроскопия, спектральная эллипсометрия, спектрометрии локального отражения и комбинационного рассеяния света применены для определения связи между оптическими и структурными свойствами аморфных углеродно-кремниевых пленок a-C:H:Si и изучения роли атомной структуры в процессе формирования конусообразных нанообъектов под действием электрического поля в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ)-литографе. На основании анализа полученных экспериментальных данных установлено, что в исходном состоянии пленки отличаются высокой степенью разупорядоченности кластерной структуры. В ходе СЗМ-воздействий материал пленки подвергается перестройке, сопровождающейся формированием sp3-связанной атомной структуры и наноструктурированием sp2-связанного углерода, при этом показатель преломления уменьшается на величину ~0.6. Последнее связывается с пористостью модифицированного материала.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанотехнологія
-
УДК // Фізика конденсованої матерії. Фізика твердого тіла
|
