Зведений каталог бібліотек Харкова
Амеличев, В. В. Моделирование и расчет пьезомодуля тонкой пленки цирконата-титаната свинца в тестовой микроструктуре [Текст] / Московский государственный институт электронной техники, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 3-6.
- Анотація:
Представлены результаты моделирования механических напряжений в тестовой структуре кремниевой балки и аналитического расчета пъезомодуля d31 тонкой пленки цирконата-титаната свинца, расположенной в области упругого элемента.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2009.
- Теми документа
