|
Автор: Васильев А.А., Виноградов А.И., Зарянкин Н.М., Путря М.Г., Тимошенков С.П.
-
Анотація:
Приведены результаты исследования характеристик высокочастотного плазмохимического реактора с плоским индуктором. Получены зависимости плотности ионного потока от мощности ВЧ-разряда, давления аргона и магнитного поля.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
| 