Показано, что изменение удельной электрической проводимости в монокристаллах кремния после их облучения и отжига радиационных дефектов прямо пропорционально флюенсу тепловых нейтронов. Это обстоятельство положено в основу метода измерения нейтронного потока. При этом коэффициент пропорциональности зависит от спектра нейтронов, но не зависит от исходной удельной электрической проводимости, что значительно упрощает калибровку детекторов. Среднеквадратичное отклонение при измерении флюенса тепловых нейтронов в относительных и абсолютных единицах составило 4% и 8% соответственно.