Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Донин, В. И.
    Высокоэффективный источник непрерывного дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения для обработки полупроводниковых материалов [Текст] / В.И. Донин // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 74-77.


- Анотація:

Представлен новый дуговой источник мощного непрерывного дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения, созданный на основе сильноточной плазмы пониженного давления, которая ранее использовалась в качестве активной среды ионных аргоновых лазеров со сроком службы порядка 1000 ч.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Емісія випромінювання або частинок при розрядах
  • УДК // Оптичні елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт