Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Швец, В. А.
    Эллипсометрический контроль параметров выращиваемых наноразмерных гетероструктур [Текст] / В.А. Швец, С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, Н.Н. Михайлов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 78-88.

- Анотація:

Приведены результаты по исследованию и разработке аппаратурных средств и методик эллипсометрического контроля in situ параметров гетероструктур, выращиваемых мотодом молекулярно-лучевой эпитаксии, на основе тройного соединения CdxHg1-xTe.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електричний струм. Електрокінетика
  • УДК // Електронні напівпровідники
  • УДК // Зміни стану. Теплові рівняння стану



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт