|
Автор: Акимов В.М., Witte G., Колесникова Л.И., Русин Л.Ю., Toennies J.P.
-
Анотація:
Описана конструкция с.в.ч. Разрядного устройства, в котором разряд возбуждается электромагнитной поверхностной волной с частотой 2.45 ггц. Стабильный разряд поддерживался при давлении газа p0 выше атмосферного в He, N2, смесях Н2 Аr, Н2 He и O2 Не в кварцевой трубке внутренним диаметром 2 мм с соплом 0.15 мм при с.в.ч.-мощности 50-115 Вт. Для чистого Н2 при p0 = 6 Торр и 6%-ной смеси Н2 с Не при p0 = 50 Торр достигнута степень диссоциации до 80%. С увеличением p0 (до 19 Торр для Н2 и до 300 Торр для смеси) интенсивность потока атомов водорода, несмотря на уменьшение степени диссоциации, увеличивается вследствие cужения распределения по скоростям частиц пучка.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
|
