Зведений каталог бібліотек Харкова
Симоненко, З. Г. Современные элипсометрические методы решения задач нанотехнологического исследования материалов [Текст] / С.-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики // Металлообработка : научно-производственный журнал. — С. 58-62.
- Анотація:
Рассмотрены современные эллипсометрические методы исследования материалов для решения задач нанотехнологий. Описаны элипсометрия отражения и пропускания, а также типы применяемых лазерных элипсометров, показаны перспективы их использования.
- Є складовою частиною документа:
Металлообработка [Текст] : научно-производственный журнал. — СПб. : Политехника.
- Теми документа
