ГОСТ Р 8.628-2007 устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материаладля изготовления линейных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 -9 до 10 -6 м.