|
Автор: Волк Ч.П., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А.
-
Анотація:
Приведены результаты исследований влияния энергии электронов зонда, лежащей в диапазоне 0,3-20 кэВ, на изображение тест-объекта ширины линии нанометрового диапазона в растровом электронном микроскопе.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Властивості та структура молекулярних систем
-
УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика
-
УДК // Електронно- мікроскопічні методи дослідження/Электронно-микроскопические методы исследования/Electronic and microscopic methods of research
| 