| | Белозубов, Е. М. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы - основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники [Текст] / Пензенский государственный eybdthcbntn? Пенза, Россия // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 35-38. |
| | |
|